Bunların çalışma şekli, bir kapasitörün plakaları arasındaki malzemenin su buharını alması ve böylece kapasitansı değiştirmesidir. Kapasitif higrometreler uygun şekilde kalibre edildiklerinde ±%2 RH’ye kadar hassas olabilirler. Bu higrometreler, değişen bağıl neme karşı güzel bir doğrusal tepkiye sahiptir. Davis hava istasyonları bu tip higrometreyi kullanır. Bu kapasitörler elektriksel çevrelerine tepki verir ve bu şekilde kalibre edilmeleri gerekir.
